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INVINSCAN 3D振镜

第三轴采用高速高精度专用音圈电机;
高性能数字驱动扫描模组;
高精:重复精度<2urad;
均匀:在1064nm波段特别设计了焦距为254mm的光学系统,全幅面加工范围内聚焦光斑的直径误差可做到小于2%
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INVINSCAN 3D振镜
产品信息
典型应用

 

主要配置

主要配置

参数

型号

A1064-14

A355-14

振镜参数

通光孔径

8mm

跟随误差

0.3ms

标刻速度

3000mm/s

定位速度

7000mm/s

1%全行程

0.65ms

10%全行程

1.6ms

重复精度

< 2µrad

增益漂移

< 80ppm/K

零位漂移 

< 15µrad/K

8小时漂移

< 0.3mrad

非线性度 

< 0.4%

接口协议

XY2-100

扫描角度

±0.35rad

光学参数

波长

1030-1070nm

355nm

最大承受功率

100W

25W

工作范围

150*150

150*150

动态变焦系统参数

系统入射光斑

7mm

<2.8mm

扩束比

1.4

5

变焦范围

±30mm

±20mm

基本参数

供电电源

±15V DC, ≥5A

工作温度

25±10℃

注:① 配175-254定制场镜,焦距254mm
  ② 适配180-300定制场镜,焦距300mm

 

 

典型应用

INVINSCAN 3D振镜可用于脆性材料切割、纹理、表面处理、深雕浮雕、3D打印等。

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