INVINSCAN
高性能数字驱动扫描模组
高精：重复精度<2urad
均匀：在1064nm波段特别设计了焦距为254mm的光学系统，全幅面加工范围内聚焦光斑的直径误差可做到小于2%
所属分类
高精密振镜
关键词:
3D振镜
高精密振镜
振镜
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INVINSCAN
产品信息
典型应用
主要配置
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主要配置 |
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参数 |
型号 |
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|
A1064-14 |
A355-14 |
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|
振镜参数 |
通光孔径(mm) |
8 |
|
|
跟随误差 (ms) |
0.3 |
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|
标刻速度 (mm/s) |
3000 |
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|
定位速度 (mm/s) |
7000 |
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|
1%全行程 (ms) |
0.65 |
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|
10%全行程 (ms) |
1.6 |
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|
重复精度 (µrad) |
< 2 |
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|
增益漂移 (ppm/K) |
< 80 |
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|
零位漂移 (µrad/K) |
< 15 |
||
|
8小时漂移(mrad) |
< 0.3 |
||
|
非线性度 (%) |
< 0.4 |
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|
接口协议 |
XY2-100 |
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| 扫描角度 |
±12.5° |
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|
动态变焦系统参数 |
系统入射光斑(mm) |
7 |
<2.8 |
|
扩束比 |
1.4 |
5 |
|
|
变焦范围(mm) |
±30 |
±20 |
|
|
光学参数 |
波长(nm) |
1030-1070 |
355 |
|
最大承受功率(W) |
100 |
25 |
|
|
工作范围 |
150*150① |
150*150② |
|
|
基本参数 |
电源要求 |
±15VDC, ≥5A |
|
|
工作温度(℃) |
25±10 |
||
注：① 配175-254定制场镜，焦距254mm
② 适配180-300定制场镜，焦距300mm
典型应用
可用于脆性材料切割、纹理、表面处理、深雕浮雕、3D打印等。
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